Consultantul tehnic al RSM vă va împărtăși avantajele țintelor de pulverizare cu magnetron cilindric și planar?În comparație cu alte ținte de pulverizare cu magnetron, țintele cilindrice și plane de pulverizare cu magnetron păstrează avantajele unei bune uniformități de acoperire a țintelor plane dreptunghiulare și pot maximiza utilizarea țintelor prin următoarele două moduri:
(1) Când cele două grupuri (patru) de gropi inelare de pe suprafața țintei ating o anumită adâncime, miezul țintă (partea de magnet) poate fi rotit cu 45 ° față de tubul țintă, astfel încât alte zone de pe tubul țintă care nu au fost corodate pot fi folosite;
(2) Când miezul țintă al țintei de pulverizare cu magnetron cilindric și plan este proiectat ca un miez țintă rotativ (miezul țintă se rotește în timpul pulverizării), suprafața țintei poate fi pulverizată uniform strat cu strat, fără gropi.În acest moment, ținta va fi utilizată cel mai eficient, iar rata de utilizare a țintei poate ajunge la 50% ~ 60% Când materialul țintă este metal prețios, acest lucru este evident de mare importanță.
Folosind principiul magnetului cu pantof poli în ținta de pulverizare a magnetronului cilindric coaxial pentru a rezolva problema câmpului magnetic final, ținta plană dreptunghiulară poate fi transformată într-o țintă cilindrică și plană de pulverizare a magnetronului, ținta poate maximiza rata de utilizare a țintei păstrând în același timp uniformitatea bună a acoperirii țintei planului dreptunghiular, astfel încât să se îmbunătățească beneficiile economice.
Ora postării: Iul-04-2022