Fisurile în țintele de pulverizare se produc de obicei în țintele de pulverizare ceramică, cum ar fi oxizi, carburi, nitruri și materiale fragile, cum ar fi crom, antimoniu, bismut.Acum, lăsați experții tehnici ai RSM să explice de ce ținta pulverizată crapă și ce măsuri preventive pot fi luate pentru a evita această situație.
Obiectele ceramice sau materiale fragile conțin întotdeauna tensiuni inerente.Aceste tensiuni interne sunt generate în procesul de fabricație țintă.În plus, aceste tensiuni nu sunt complet eliminate prin procesul de recoacere, deoarece sunt caracteristici inerente acestor materiale.În procesul de pulverizare, bombardarea ionilor de gaz își transferă impulsul către atomii țintă, oferindu-le suficientă energie pentru a-i separa de rețea.Acest transfer de impuls exotermic face ca temperatura țintă să crească, care poate ajunge la 1000000 ℃ la nivel atomic.
Aceste șocuri termice cresc de mai multe ori stresul intern existent în țintă.În acest caz, dacă căldura nu este disipată corespunzător, ținta se poate rupe.Pentru a preveni crăparea țintei, trebuie subliniată disiparea căldurii.Este necesar un mecanism de răcire cu apă pentru a elimina energia termică nedorită din țintă.O altă problemă de luat în considerare este creșterea puterii.Prea multă putere aplicată într-un timp scurt va provoca, de asemenea, șoc termic țintei.În plus, vă sugerăm legarea acestor ținte de backplane, care nu numai că poate oferi suport pentru țintă, ci și poate promova un schimb mai bun de căldură între țintă și apă.Dacă ținta are crăpături, dar este lipită de placa din spate, poate fi folosită în continuare.
Rich Special Materials Co., Ltd. poate furniza ținte de pulverizare cu backplane.Poate fi personalizat în funcție de cerințele clienților de material, grosime și tip de lipire.
Ora postării: 21-sept-2022