Recent, mulți prieteni au întrebat despre caracteristicile țintelor pulverizate cu molibden.În industria electronică, pentru a îmbunătăți eficiența pulverizării și a asigura calitatea filmelor depuse, care sunt cerințele pentru caracteristicile țintelor de pulverizare cu molibden?Acum ne vor explica experții tehnici de la RSM.
1. Puritate
Puritatea ridicată este o cerință caracteristică de bază a țintei pulverizate cu molibden.Cu cât puritatea țintei de molibden este mai mare, cu atât performanța filmului pulverizat este mai bună.În general, puritatea țintei de pulverizare cu molibden ar trebui să fie de cel puțin 99,95% (fracția de masă, aceeași mai jos).Cu toate acestea, odată cu îmbunătățirea continuă a dimensiunii substratului de sticlă în industria LCD, lungimea cablului trebuie extinsă și lățimea liniei trebuie să fie mai subțire.Pentru a asigura uniformitatea filmului și calitatea cablajului, puritatea țintei de pulverizare cu molibden trebuie, de asemenea, crescută în mod corespunzător.Prin urmare, în funcție de dimensiunea substratului de sticlă pulverizată și a mediului de utilizare, puritatea țintei de pulverizare cu molibden trebuie să fie de 99,99% – 99,999% sau chiar mai mare.
Ținta de pulverizare cu molibden este utilizată ca sursă de catod în pulverizare.Impuritățile din solid și oxigenul și vaporii de apă din pori sunt principalele surse de poluare ale peliculelor depuse.În plus, în industria electronică, deoarece ionii de metale alcaline (Na, K) sunt ușor de a deveni ioni mobili în stratul de izolație, performanța dispozitivului original este redusă;Elemente precum uraniul (U) și titanul (TI) vor fi eliberate cu raze X α, ceea ce duce la defectarea ușoară a dispozitivelor;Ionii de fier și nichel vor cauza scurgeri de interfață și creșterea elementelor de oxigen.Prin urmare, în procesul de preparare a țintei de pulverizare cu molibden, aceste elemente de impurități trebuie controlate strict pentru a minimiza conținutul lor în țintă.
2. Dimensiunea boabelor și distribuția mărimii
În general, ținta de pulverizare cu molibden este structura policristalină, iar dimensiunea granulelor poate varia de la microni la milimetru.Rezultatele experimentale arată că rata de pulverizare a țintei cu cereale fine este mai rapidă decât cea a țintei cu cereale grosiere;Pentru ținta cu diferență mică de dimensiune a granulelor, distribuția grosimii filmului depus este, de asemenea, mai uniformă.
3. Orientarea cristalelor
Deoarece atomii țintă sunt ușor de pulverizat de-a lungul direcției celui mai apropiat aranjament de atomi în direcția hexagonală în timpul pulverizării, pentru a obține cea mai mare rată de pulverizare, viteza de pulverizare este adesea crescută prin schimbarea structurii cristaline a țintei.Direcția cristalului țintei are, de asemenea, o mare influență asupra uniformității grosimii filmului pulverizat.Prin urmare, este foarte important să se obțină o anumită structură țintă orientată spre cristal pentru procesul de pulverizare a filmului.
4. Densificare
În procesul de acoperire prin pulverizare, atunci când ținta de pulverizare cu densitate scăzută este bombardată, gazul existent în porii interni ai țintei este eliberat brusc, rezultând stropirea de particule sau particule țintă de dimensiuni mari sau materialul filmului este bombardat. de electroni secundari după formarea peliculei, rezultând stropirea particulelor.Aspectul acestor particule va reduce calitatea filmului.Pentru a reduce porii din solidul țintă și pentru a îmbunătăți performanța filmului, ținta de pulverizare este, în general, necesară să aibă o densitate mare.Pentru ținta de pulverizare cu molibden, densitatea sa relativă ar trebui să fie mai mare de 98%.
5. Legarea țintei și a șasiului
În general, ținta de pulverizare cu molibden trebuie conectată la șasiu din cupru fără oxigen (sau aluminiu și alte materiale) înainte de pulverizare, astfel încât conductivitatea termică a țintei și a șasiului să fie bună în timpul procesului de pulverizare.După legare, inspecția cu ultrasunete trebuie efectuată pentru a se asigura că suprafața de nelegare a celor două este mai mică de 2%, astfel încât să îndeplinească cerințele pulverizării de mare putere fără a cădea.
Ora postării: Iul-19-2022