1. Metoda de pulverizare cu magnetron:
Pulverizarea cu magnetron poate fi împărțită în pulverizare DC, pulverizare cu frecvență medie și pulverizare RF
A. Sursa de alimentare cu pulverizare DC este ieftină și densitatea filmului depus este slabă.În general, bateriile fototermale domestice și bateriile cu peliculă subțire sunt utilizate cu energie scăzută, iar ținta de pulverizare este ținta metalică conductivă.
B. Energia de pulverizare RF este mare, iar ținta de pulverizare poate fi țintă neconductivă sau țintă conductivă.
C. Ținta de pulverizare cu frecvență medie poate fi țintă ceramică sau țintă metalică.
2. Clasificarea și aplicarea țintelor de pulverizare
Există multe tipuri de ținte de pulverizare, iar metodele de clasificare a țintelor sunt, de asemenea, diferite.După formă, acestea sunt împărțite în țintă lungă, țintă pătrată și țintă rotundă;În funcție de compoziție, poate fi împărțit în țintă de metal, țintă de aliaj și țintă de compus ceramic;În funcție de diferite domenii de aplicare, poate fi împărțit în ținte ceramice legate de semiconductor, ținte ceramice medii de înregistrare, ținte ceramice afișate etc. Țintele de pulverizare sunt utilizate în principal în industriile electronice și informaționale, cum ar fi industria de stocare a informațiilor.În această industrie, țintele de pulverizare sunt utilizate pentru a pregăti produse relevante cu film subțire (hard disk, cap magnetic, disc optic etc.).În prezent.Odată cu dezvoltarea continuă a industriei informației, cererea de înregistrare a țintelor ceramice medii pe piață este în creștere.Cercetarea și producția de ținte medii de înregistrare a devenit în centrul atenției extinse.
Ora postării: 11-mai-2022