Țintele de molibden pulverizate au fost utilizate pe scară largă în industria electronică, celulele solare, acoperirea din sticlă și alte domenii datorită avantajelor lor inerente.Odată cu dezvoltarea rapidă a tehnologiei moderne în miniaturizare, integrare, digitalizare și inteligență, utilizarea țintelor de molibden va continua să crească, iar cerințele de calitate pentru acestea vor deveni, de asemenea, din ce în ce mai ridicate.Așa că trebuie să găsim modalități de a îmbunătăți rata de utilizare a țintelor de molibden.Acum, editorul RSM va introduce mai multe metode pentru a îmbunătăți rata de utilizare a țintelor de molibden prin pulverizare pentru toată lumea.
1. Adăugați bobină electromagnetică pe verso
Pentru a îmbunătăți rata de utilizare a țintei de molibden pulverizat, poate fi adăugată o bobină electromagnetică pe partea din spate a țintei plane de molibden pulverizat cu Magnetron, iar câmpul magnetic de pe suprafața țintei de molibden poate fi crescut prin creșterea curentului de bobina electromagnetică, astfel încât să îmbunătățească rata de utilizare a țintei de molibden.
2. Selectați materialul țintă rotativ tubular
În comparație cu ținte plate, alegerea unei structuri de țintă rotativă tubulară evidențiază avantajele sale substanțiale.În general, rata de utilizare a țintelor plate este de numai 30% până la 50%, în timp ce rata de utilizare a țintelor tubulare rotative poate ajunge la peste 80%.Mai mult, atunci când utilizați ținta de pulverizare a magnetronului cu tub tubular rotativ, deoarece ținta se poate roti în jurul ansamblului magnetului cu bară fixă tot timpul, nu va exista nicio redepunere pe suprafața sa, astfel încât durata de viață a țintei rotative este în general de peste 5 ori mai lungă. decât cel al țintei avionului.
3. Înlocuiți cu un echipament nou de pulverizare
Cheia pentru îmbunătățirea ratei de utilizare a materialelor țintă este finalizarea înlocuirii echipamentelor de pulverizare.În timpul procesului de pulverizare a materialului țintă de pulverizare cu molibden, aproximativ o șaseme din atomii de pulverizare se vor depune pe peretele sau suportul camerei de vid după ce au fost loviți de ionii de hidrogen, crescând costul de curățare a echipamentului de vid și timpul de oprire.Prin urmare, înlocuirea noilor echipamente de pulverizare poate ajuta, de asemenea, la îmbunătățirea ratei de utilizare a țintelor de molibden de pulverizare.
Ora postării: 24-mai-2023