Materialul țintă utilizat în industria de stocare a datelor necesită puritate ridicată, iar impuritățile și porii trebuie minimizați pentru a evita generarea de particule de impurități în timpul pulverizării.Materialul țintă utilizat pentru produse de înaltă calitate necesită ca dimensiunea particulelor sale de cristal să fie mică și uniformă și să nu aibă orientare a cristalului.Mai jos, să aruncăm o privire la cerințele industriei de stocare optică pentru materialul țintă?
1. Puritate
În aplicațiile practice, puritatea materialelor țintă variază în funcție de diferite industrii și cerințe.Cu toate acestea, în general, cu cât puritatea materialului țintă este mai mare, cu atât performanța filmului pulverizat este mai bună.De exemplu, în industria de stocare optică, puritatea materialului țintă trebuie să fie mai mare de 3N5 sau 4N
2. Conținut de impurități
Materialul țintă servește ca sursă catodică în pulverizare, iar impuritățile din solid și oxigenul și vaporii de apă din pori sunt principalele surse de poluare pentru depunerea filmelor subțiri.În plus, există cerințe speciale pentru ținte de diferite utilizări.Luând ca exemplu industria de stocare optică, conținutul de impurități din țintele de pulverizare trebuie controlat foarte scăzut pentru a asigura calitatea acoperirii.
3. Dimensiunea boabelor și distribuția mărimii
De obicei, materialul țintă are o structură policristalină, cu dimensiuni ale granulelor variind de la micrometri la milimetri.Pentru ținte cu aceeași compoziție, viteza de pulverizare a țintelor cu granulație fină este mai rapidă decât cea a țintelor cu cereale grosiere.Pentru țintele cu diferențe mai mici de dimensiune a granulelor, grosimea filmului depus va fi, de asemenea, mai uniformă.
4. Compactitate
Pentru a reduce porozitatea materialului țintă solid și pentru a îmbunătăți performanța filmului, este necesar, în general, ca materialul țintă de pulverizare să aibă o densitate mare.Densitatea materialului țintă depinde în principal de procesul de preparare.Materialul țintă fabricat prin metoda de topire și turnare poate asigura că nu există pori în interiorul materialului țintă și densitatea este foarte mare.
Ora postării: Iul-18-2023