Datorită stabilității la temperatură ridicată, rezistenței ridicate la migrarea electronilor și coeficientului ridicat de emisie de electroni al aliajelor refractare de tungsten și tungsten, țintele de tungsten și aliaje de wolfram de înaltă puritate sunt utilizate în principal pentru fabricarea electrozilor de poartă, cablajele de conectare, straturile de barieră de difuzie etc. ale semiconductorilor. circuite integrate și au cerințe ridicate pentru puritatea, conținutul de impurități, densitatea, dimensiunea granulelor și uniformitatea structurii granulelor a materialelor.Acum să aruncăm o privire la factorii care afectează pregătirea țintei de tungsten de înaltă puritate.
1、 Efectul temperaturii de sinterizare
Procesul de formare a embrionului țintă de tungsten este realizat în general prin presare izostatică la rece.Granulele de wolfram vor crește în timpul procesului de sinterizare.Creșterea boabelor de wolfram va umple golul dintre limitele de cereale, îmbunătățind astfel densitatea țintei de wolfram.Odată cu creșterea timpilor de sinterizare, creșterea densității țintei de tungsten încetinește treptat.Motivul principal este că, după sinterizarea multiplă, calitatea țintei de tungsten nu s-a schimbat prea mult.Deoarece majoritatea golurilor din limita granulelor sunt umplute cu cristale de tungsten, după fiecare sinterizare, rata generală de schimbare a dimensiunii țintei de tungsten a fost foarte mică, rezultând un spațiu limitat pentru creșterea densității țintei de tungsten.Odată cu procesul de sinterizare, boabele de wolfram crescute sunt umplute în goluri, rezultând o densitate mai mare a țintei cu particule mai mici.
2、 Efectul timpului de reținere
La aceeași temperatură de sinterizare, compactitatea țintei de tungsten va fi îmbunătățită odată cu prelungirea timpului de menținere a sinterizării.Odată cu prelungirea timpului de păstrare, dimensiunea granulelor de wolfram va crește, iar odată cu prelungirea timpului de păstrare, timpii de creștere a dimensiunii boabelor vor încetini treptat, ceea ce înseamnă că creșterea timpului de păstrare poate îmbunătăți și performanța ținta de tungsten.
3、 Efectul rulării asupra proprietăților țintei
Pentru a îmbunătăți densitatea materialului țintă de wolfram și pentru a obține structura de procesare a materialului țintă de tungsten, rularea la temperatură medie a materialului țintă de wolfram trebuie să fie efectuată sub temperatura de recristalizare.Dacă temperatura de rulare a țaglei țintă este ridicată, structura de fibre a țaglei țintă va fi grosieră și invers.Când rata de rulare la cald atinge mai mult de 95%.Deși diferența de structură a fibrei cauzată de diferite cereale originale sau de temperaturi diferite de laminare va fi eliminată, structura internă a țintei va forma o structură de fibre relativ uniformă, astfel încât cu cât este mai mare rata de procesare a laminarii la cald, cu atât performanța țintei este mai bună.
Ora postării: 15-feb-2023