Materialele țintă pulverizate au cerințe ridicate în timpul utilizării, nu numai pentru puritate și dimensiunea particulelor, ci și pentru dimensiunea uniformă a particulelor.Aceste cerințe ridicate ne fac să acordăm mai multă atenție atunci când folosim materiale țintă de pulverizare.
1. Preparare pentru pulverizare
Este foarte important să se mențină curățenia camerei de vid, în special sistemul de pulverizare.Lubrifianții, praful și orice reziduu de la acoperirile anterioare pot acumula poluanți precum apa, afectând direct vidul și crescând probabilitatea eșecului formării peliculei.Scurtcircuite, arcul țintă, suprafețele aspre care formează peliculă și impuritățile chimice excesive sunt de obicei cauzate de camerele de pulverizare, pistoalele și țintele necurate.
Pentru a menține caracteristicile compoziționale ale acoperirii, gazul de pulverizare (argon sau oxigen) trebuie să fie curat și uscat.După instalarea substratului în camera de pulverizare, aerul trebuie extras pentru a atinge nivelul de vid necesar pentru proces.
2. Curățare țintă
Scopul curățării țintei este de a îndepărta orice praf sau murdărie care poate exista pe suprafața țintei.
3. Instalarea țintă
Cel mai important lucru la care trebuie să acordați atenție în timpul procesului de instalare a materialului țintă este asigurarea unei bune conexiuni termice între materialul țintă și peretele de răcire al pistolului de pulverizare.Dacă peretele de răcire sau placa din spate sunt puternic deformate, poate cauza crăpare sau îndoire în timpul instalării materialului țintă.Transferul de căldură de la ținta din spate la materialul țintă va fi foarte afectat, rezultând în incapacitatea de a disipa căldura în timpul pulverizării, ducând în cele din urmă la fisurarea sau deviația materialului țintă.
4. Inspecție de scurtcircuit și etanșare
După instalarea materialului țintă, este necesar să se verifice scurtcircuitul și etanșarea întregului catod.Se recomandă utilizarea unui ohmmetru și un megaohmetru pentru a determina dacă catodul este scurtcircuitat.După confirmarea faptului că catodul nu este scurtcircuitat, poate fi efectuată o detectare a scurgerilor prin injectarea apei în catod pentru a determina dacă există vreo scurgere.
5. Materialul țintă înainte de pulverizare
Se recomandă utilizarea gazului argon pur pentru pulverizarea prealabilă a materialului țintă, care poate curăța suprafața materialului țintă.Se recomandă creșterea lent a puterii de pulverizare în timpul procesului de pre pulverizare pentru materialul țintă.Puterea materialului ceramic țintă
Ora postării: 19-oct-2023