Utilizarea pe scară largă a materialului țintă în diferite profesii face ca cererea de material țintă să fie din ce în ce mai mare.Următoarele Vom introduceți pe scurt tu care sunt cerințele funcționale primare ale țintei, hoping sa te ajut.
Puritate: Puritatea este unul dintre indicatorii funcționali primari ai țintei, deoarece puritatea țintei are un impact mare asupra funcției filmului.Dar, în practică, puritatea materialului țintă nu este aceeași.De exemplu, odată cu creșterea rapidă a profesiei de microelectronică,Dimensiunea plachetei de siliciu a crescut de la 6”, 8” la 12”, iar lățimea cablajului a scăzut de la 0,5um la 0,25um, 0,18um și chiar 0,13um.Odată ce 99,995% din puritatea țintă poate îndeplini cerințele tehnologice de 0,35 UMIC.Pregătirea liniei de 0,18um necesită 99,999% sau chiar 99,9999% puritate a materialului țintă.
Densitate: Pentru a reduce porozitatea solidului țintă și pentru a îmbunătăți funcția filmului de pulverizare, ținta este de obicei necesară să aibă o densitate mare.Densitatea țintă afectează nu numai viteza de pulverizare, ci și proprietățile electrice și optice ale filmelor.Cu cât densitatea țintă este mai mare, cu atât funcția filmului este mai bună. În plus, densitatea și rezistența materialului țintă au fost crescute pentru a-l face mai capabil să reziste la stresul termic în timpul pulverizării.Densitatea este, de asemenea, unul dintre indicatorii funcționali importanți ai substanțelor țintă.
Conținut de impurități: impuritățile din solidul țintă și oxigenul și vaporii de apă din pori sunt sursele primare de poluare a filmelor acumulate. Diferitele materiale țintă pentru diferite scopuri au cerințe diferite pentru diferite conținuturi de impurități.De exemplu, țintele din aluminiu pur și aliaje de aluminiu utilizate în industria semiconductoarelor au cerințe speciale pentru conținutul de metale alcaline și conținutul de elemente radioactive.
Ora postării: 06-jun-2022