Metalele refractare de tungsten și aliajele de tungsten au avantajele unei stabilități la temperaturi ridicate, rezistență ridicată la migrarea electronilor și coeficient ridicat de emisie de electroni.Țintele de tungsten și aliaje de tungsten de înaltă puritate sunt utilizate în principal pentru fabricarea electrozilor de poartă, cablajele de conectare, straturi de barieră de difuzie ale circuitelor integrate semiconductoare.Au cerințe foarte ridicate privind puritatea, conținutul de impurități, densitatea, dimensiunea granulelor și structura uniformă a granulelor materialelor.Să aruncăm o privire la factorii care influențează pregătirea țintei de tungsten de înaltă puritateby Rich Special Material Co.,Ltd.
I. Efectul temperaturii de sinterizare
Procesul de formare a embrionului țintă de tungsten este de obicei realizat prin presiune izostatică rece.Granulele de wolfram vor crește în timpul sinterizării.Creșterea granulelor de wolfram va umple golul dintre limitele cristalelor, crescând astfel densitatea țintei de tungsten.Odată cu creșterea timpilor de sinterizare, creșterea densității țintei de tungsten încetinește treptat.Motivul principal este că calitatea materialului țintă de tungsten nu s-a schimbat prea mult după mai multe procese de sinterizare.Deoarece majoritatea golurilor din limita cristalului sunt umplute cu cristale de tungsten, rata de modificare a dimensiunii totale a țintei de tungsten este foarte mică după fiecare proces de sinterizare, ceea ce are ca rezultat un spațiu limitat pentru creșterea densității țintei de tungsten.Pe măsură ce sinterizarea continuă, boabele mari de tungsten sunt umplute în goluri, rezultând o țintă mai densă cu dimensiuni mai mici.
2. Efectul dehMananca timp de conservare
La aceeași temperatură de sinterizare, compactitatea materialului țintă de tungsten este îmbunătățită odată cu creșterea timpului de sinterizare.Odată cu creșterea timpului de sinterizare, dimensiunea granulelor de wolfram crește, iar odată cu prelungirea timpului de sinterizare, factorul de creștere a mărimii granulelor încetinește treptat.Acest lucru arată că creșterea timpului de sinterizare poate îmbunătăți și performanța țintei de tungsten.
3. Efectul derulării asupra țintei Pperformanță
Pentru a îmbunătăți densitatea materialelor țintă de wolfram și a obține structura de procesare a materialelor țintă de wolfram, rularea la temperatură medie a materialelor țintă de wolfram trebuie efectuată sub temperatura de recristalizare.Când temperatura de rulare a semifabricatului țintă este ridicată, structura fibrei a semifabricatului țintă este mai groasă, în timp ce cea a semifabricatului țintă este mai fină.Când randamentul de laminare la cald este peste 95%.Deși diferența de structură a fibrei cauzată de sinterizarea granulelor originale sau a temperaturii de laminare diferite va fi eliminată, în interiorul țintei se va forma o structură de fibre mai omogenă, astfel încât cu cât este mai mare rata de procesare a laminarii la cald, cu atât performanța țintei este mai bună.
Ora postării: mai-05-2022