1, Pregătire pentru pulverizare
Este foarte important să păstrați curat camera de vid, în special sistemul de pulverizare.Orice reziduu format de ulei lubrifiant, praf și acoperire anterioară va colecta vapori de apă și alți poluanți, care vor afecta direct gradul de vid și vor crește posibilitatea defecțiunii de formare a peliculei.Scurtcircuit sau arcul țintă, suprafața rugoasă a filmului și conținutul excesiv de impurități chimice sunt adesea cauzate de camera de pulverizare, pistolul de pulverizare și ținta necurate.Pentru a adera la caracteristicile compoziției acoperirii, este necesar să curățați și să uscați gazul de pulverizare (argon sau oxigen).După ce substratul este instalat în camera de pulverizare, aerul trebuie extras pentru a ajunge la vidul necesar procesului.Capacul de ecranare din zona întunecată, peretele cavității și suprafața adiacentă trebuie, de asemenea, menținute curate.La curățarea camerei de vid, recomandăm utilizarea sablare cu bile de sticlă pentru a trata părțile prăfuite, împreună cu aer comprimat pentru a îndepărta reziduurile timpurii de pulverizare din jurul camerei, apoi lustruiți în liniște suprafața exterioară cu hârtie șmirghel impregnată cu alumină.După lustruirea hârtiei de tifon, aceasta se curăță cu alcool, acetonă și apă deionizată.Împreună, susține utilizarea unui aspirator industrial pentru curățarea auxiliară.Țintele produse de metal Gaozhan sunt ambalate în pungi de plastic sigilate în vid,
Construit în agent rezistent la umiditate.Când utilizați ținta, vă rugăm să nu atingeți ținta direct cu mâna.Notă: atunci când utilizați ținta, vă rugăm să purtați mănuși de întreținere curate și fără scame.Nu atingeți niciodată ținta direct cu mâinile
2、 Curățarea țintă
Scopul curățării țintei este de a îndepărta praful sau murdăria care poate exista pe suprafața țintei.
Ținta metalică poate fi curățată în patru pași,
Primul pas este curățarea cu o cârpă moale fără scame, înmuiată în acetonă;
Al doilea pas este similar cu primul pas, curățarea cu alcool;
Pasul 3: curățați cu apă deionizată.După spălarea cu apă deionizată, puneți ținta în cuptor și uscați-o la 100 ℃ timp de 30 de minute.
Curățarea țintelor cu oxid și ceramică se va face cu „cânză fără scame”.
Al patrulea pas este să spălați ținta cu argon cu presiune mare și apă scăzută cu gaz după îndepărtarea zonei cu praf, astfel încât să îndepărtați toate particulele de impurități care pot forma arc în sistemul de pulverizare.
3、 Dispozitivul țintă
În procesul de instalare a țintei, Z precauții importante sunt asigurarea unei bune conexiuni de conducere termică între țintă și peretele de răcire al pistolului de pulverizare.Dacă deformarea doagei de răcire este severă sau deformarea plăcii din spate este severă, dispozitivul țintă se va crăpa sau se va îndoi, iar conductivitatea termică de la ținta din spate la țintă va fi foarte afectată, ducând la eșecul disipării căldurii în procesul de pulverizare, iar ținta va crăpa sau va rata
Pentru a asigura conductivitatea termică, între peretele de răcire a catodului și țintă poate fi acoperit un strat de hârtie grafit.Vă rugăm să acordați atenție să verificați cu atenție și să clarificați planeitatea peretelui de răcire al pistolului de pulverizare utilizat pentru a vă asigura că inelul O este întotdeauna la locul său.
Deoarece curățenia apei de răcire utilizate și praful care poate apărea în timpul funcționării echipamentului se vor depune în rezervorul de apă de răcire catodic, este necesar să se verifice și să curețe rezervorul cu apă de răcire catodica la instalarea țintei pentru a asigura o bună funcționare. circulatia apei de racire si ca admisia si iesirea sa nu fie blocate.
Unii catozi sunt planificați să aibă un spațiu mic cu anodul, așa că atunci când se instalează ținta, este necesar să se asigure că nu există nicio atingere sau conductor între catod și anod, altfel va apărea un scurtcircuit.
Consultați manualul operatorului echipamentului pentru informații despre cum să operați corect ținta.Dacă nu există astfel de informații în manualul de utilizare, vă rugăm să încercați să instalați dispozitivul conform sugestiilor relevante oferite de Gaozhan metal.Când strângeți dispozitivul țintă, strângeți mai întâi un șurub cu mâna, apoi strângeți un alt șurub pe diagonală cu mâna.Repetați acest lucru până când toate șuruburile de pe dispozitiv sunt strânse, apoi strângeți cu ceva.
4、 Inspecție de scurtcircuit și etanșeitate
După finalizarea dispozitivului țintă, este necesar să se verifice scurtcircuitul și etanșeitatea întregului catod,
Se propune să se determine dacă există un scurtcircuit în catod folosind un contor de rezistență
Discriminarea rândurilor.După confirmarea faptului că nu există un scurtcircuit în catod, poate fi efectuată detectarea scurgerilor și poate fi introdusă apă în catod pentru a confirma dacă există scurgeri de apă.
5, țintă înainte de pulverizare
Pulverizarea pre-țintei susține pulverizarea cu argon pur, care poate curăța suprafața țintei.Când ținta este pre pulverizată, se recomandă creșterea lent a puterii de pulverizare, iar rata de creștere a puterii țintei ceramice este de 1,5 WH / cm2.Viteza de pre pulverizare a țintei metalice poate fi mai mare decât cea a blocului țintă din ceramică, iar o rată rezonabilă de creștere a puterii este de 1,5 WH / cm2.
În procesul de pre pulverizare, trebuie să verificăm arcul țintei.Timpul înainte de pulverizare este în general de aproximativ 10 minute.Dacă nu există un fenomen de arc, creșteți continuu puterea de pulverizare
La puterea stabilită.Conform experienței, puterea de pulverizare înaltă Z acceptabilă a țintei metalice este
25 wați / cm2, 10 wați / cm2 pentru ținta ceramică.Vă rugăm să consultați baza de setare și experiența presiunii camerei de vid în timpul pulverizării în manualul de utilizare a sistemului de utilizare.În general, ar trebui să se asigure că temperatura apei la ieșirea apei de răcire ar trebui să fie mai mică de 35 ℃, dar este important să se asigure că sistemul de circulație al apei de răcire poate funcționa eficient
Circulația rapidă a apei de suprarăcire ia căldură, care este o garanție importantă pentru a asigura pulverizarea continuă cu putere mare.Pentru țintele metalice, în general se recomandă ca debitul de apă de răcire să fie
Presiunea apei de 20 lpm este de aproximativ 5 gmp;Pentru țintele ceramice, se recomandă, în general, ca debitul de apă să fie de 30 lpm și presiunea apei să fie de aproximativ 9 gmp.
6, Țintă întreținere
Pentru a preveni scurtcircuitul și arcul cauzat de cavitatea necurată în procesul de pulverizare, este necesar să îndepărtați pulverizarea acumulată în centrul și ambele părți ale pistei de pulverizare în etape,
Acest lucru ajută, de asemenea, utilizatorii să pulverizeze continuu la o densitate mare de putere z
7、 Depozitarea țintă
Țintele furnizate de Gaozhan metal sunt ambalate în pungi de plastic cu vid dublu strat.Susținem ca utilizatorii să păstreze țintele, fie din metal sau ceramică, în ambalaje în vid.În special, țintele de lipire trebuie să fie depozitate în condiții de vid pentru a preveni ca oxidarea stratului de legătură să afecteze calitatea lipirii.În ceea ce privește ambalarea țintelor metalice, susținem ca Z să fie ambalat în pungi de plastic curate
Ora postării: 13-mai-2022